株式会社吴羽在世界上率先实现沥青系列碳素纤维(KRECA)的产业化

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吴羽化学邀参加semicon china2013大会并表技术讲

上海吴羽化学应邀出席Semicon China 2013术大会并将发表碳毡在热场中的运用相关知识。
同时介绍吴羽碳毡新技术。

时间: 3月21日,周四 上午
地点: 上海新国际博览中心(龙阳路)
分会: 硅材料、晶硅和硅片加工技术
演讲人: Mr.Otani Yo

概要:
半导体硅,半导体单晶化合物的制造,主流方法为CZ直拉法。这种结晶直拉法是半导体制造过程中重要的工艺之一。 直拉法工艺,是利用直拉装置将原料进行加热器加热・熔化,旋转溶液的同时进行结晶生长。 在原料熔点温度之上进行直拉工艺,直拉装置中必须使用隔热材料。然而,为了得到良好的结晶,高温温区的耐热性、优良的隔热性、洁净性等条件因素必须考虑。 另一方面,碳纤维即使在~3,000℃(真空或者惰性气体环境)温度下,其强度仍然不会退化。在高温情况下,显示出热膨胀系数小,重量轻等特点。 作为隔热材料的原料,碳纤维正是具备着这种特点,才能满足前述装置对隔热材料的特性要求。也因此,主要面向半导体硅直拉炉,积累了很多实际使用经验。

本报告叙述的主要内容包括:
(1)作为原料的碳纤维种类,特点
(2)碳纤维隔热材料的种类,特点
(3)隔热的结构
(4)今后的隔热材料课题

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上海吴羽化学有限公司
2013-02-28